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FlexSEM1000掃描電鏡憑借全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測器,可在加速電壓20 kV下實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面,具有亮度和對焦自動調(diào)節(jié)功能,可以在短時間內(nèi)進(jìn)行各種觀察。此外,還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP”,這個功能可彌補(bǔ)電子顯微鏡上難以找準(zhǔn)視野的缺點(diǎn),實(shí)現(xiàn)最直觀的視野移動。
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